净化处理设备的规定

　　（1）自然环境规定

　　1.保证达到气体洁净度的技术措施

　　2.温度湿度操纵与洁净度操纵方式的一致性

　　3.为保持房间内正压力规定，有效明确送、风量

　　4.有害物质的排出与解决

　　5.震动与噪音的避免难题

　　（2）协调能力

　　1.管路等功能设施具备充足的可塑性

　　2.设计变更中对加工工艺的危害水平应小

　　3.在热冷设备等层面均应遵循加工工艺的发展趋势

　　（3）安全系数

　　1.排出来废料、废气的处理设施是不是完善

　　2.排烟系统设备、消防安全设备的设定与警报

　　（4）运行标准

　　1.有没有预留设备（对24小时持续运作者）

　　2.一瞬间断电造成不良影响的避免

　　3.维护保养和检修的便捷性

　　4.环保节能运作对策